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        inficon真空計的原理,你了解多少?

        更新時間:2023-07-21    訪問次數:617

        inficon真空計是一種用于測量高真空度區域內的氣體壓力(空氣密度低到低于大氣壓的范圍內)的儀器。其工作原理基于氣體分子與表面之間的碰撞,以及氣體分子在真空條件下的運動特性。

        它的種類很多,這些儀器以不同的原理來工作,例如熱電子與陰極陰離子的流動、大流量吸收、容積測壓與振動方式等。不同的真空計具有不同的特點和優缺點,可以根據實際需要選擇合適的儀器。

        inficon真空計的基本原理:

        包括兩個電極,其中一個電極為陽極(陰極射線管或電子槍),另一個電極為陰極(接收器)。當加上高壓電源后,陽極會發射出電子束,經過真空區域時與氣體分子發生碰撞,使其電離并生成電子離子對。這些離子對在電場的驅動下運動,并在陰極表面產生電流。

        采用不同的電極結構和電路設計,真空計可以實現不同的測量范圍和靈敏度。其中,熱陰極真空計利用熱電子發射的原理,在真空區域中產生電子,并通過電子與氣體分子的碰撞計算氣體壓力;而冷陰極真空計則通過陰極表面的氣體吸附和解吸來測量氣壓,其靈敏度比熱陰極真空計高,適用于更廣泛的測量范圍。

        總之,inficon真空計在許多應用中都有廣泛的應用,例如太陽能電池、微電子領域的材料研究、半導體加工廠和航空制造廠等。不同的真空計具有不同的測量范圍、體積、靈敏度等特點。因此在選擇和使用真空計時,需要根據實際情況進行評估,以選擇最適合的儀器。


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